懸浮轉(zhuǎn)子式微機械陀螺儀的研究進展

時間：2023-04-27 13:22:54 航空航天論文我要投稿

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介紹了一種不同于振動式微機械陀螺儀的新型微機電系統(tǒng)陀螺-懸浮轉(zhuǎn)子式微機械陀螺儀,并就國內(nèi)外關(guān)于磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺和靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺研究的各種結(jié)構(gòu)及其工作原理、工藝和性能特點進行了概述,以展示這一新穎微陀螺的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.

懸浮轉(zhuǎn)子式微機械陀螺儀的研究進展

作者：崔峰陳文元蘇宇鋒吳校生 CUI Feng CHEN Wen-yuan SU Yu-feng WU Xiao-sheng 作者單位：上海交通大學(xué),微納米科學(xué)技術(shù)研究院,微米/納米加工技術(shù)國家級重點實驗室,上海,200030 刊名：壓電與聲光 ISTIC PKU 英文刊名： PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS 年，卷(期)： 2005 27(3) 分類號： V241.5 關(guān)鍵詞：微機電系統(tǒng) 微機械陀螺磁懸浮靜電懸浮轉(zhuǎn)子

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