Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20隧道結(jié)磁電阻與退火效應(yīng)的研

Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20隧道結(jié)磁電阻與退火效應(yīng)的研究

采用磁控濺射技術(shù)制備了Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20磁性隧道結(jié)樣品,觀測(cè)了該隧道結(jié)次伏安特性及隧道磁電阻的磁化曲線.研究了中間絕緣層結(jié)構(gòu)和厚度及不同退火條件對(duì)隧道結(jié)磁電阻效應(yīng)的影響.結(jié)果表明,中間氧化物的厚度對(duì)磁電阻值起調(diào)節(jié)作用,在3～7 nm范圍內(nèi)磁電阻基本呈現(xiàn)單調(diào)遞減現(xiàn)象,是提高磁隧道結(jié)性能必須考慮的因素;發(fā)現(xiàn)隧道結(jié)磁電阻隨退火溫度升高而增加,并在230℃左右達(dá)到最大.

作 者： 徐小龍 程遙 翁兆平 李燕飛   作者單位： 哈爾濱理工大學(xué),應(yīng)用科學(xué)學(xué)院,黑龍江,哈爾濱,150080  刊 名： 哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào)  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HARBIN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 9(5)  分類號(hào)： O441.6  關(guān)鍵詞： 磁性隧道結(jié)   隧道磁電阻   磁控濺射  

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