- 相關(guān)推薦
氣相沉積制備硬質(zhì)薄膜技術(shù)與應(yīng)用述評
本文對氣相沉積技術(shù)的發(fā)展與最新趨勢給出了述評,重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)了等離子體輔助化學(xué)氣相沉積(PCVD)的優(yōu)勢、進(jìn)展及其在工模具領(lǐng)域的應(yīng)用.
作 者： 馬勝利 徐可為 介萬奇 作者單位： 馬勝利(西北工業(yè)大學(xué)金屬凝固技術(shù)國家重點(diǎn)實驗室,西安,710072;西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國家重點(diǎn)實驗室,西安,710049)徐可為(西安交通大學(xué)金屬材料強(qiáng)度國家重點(diǎn)實驗室,西安,710049)
介萬奇(西北工業(yè)大學(xué)金屬凝固技術(shù)國家重點(diǎn)實驗室,西安,710072)
刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報 ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2002 22(6) 分類號： O484 關(guān)鍵詞： 氣相沉積技術(shù) 硬質(zhì)薄膜 PCVD【氣相沉積制備硬質(zhì)薄膜技術(shù)與應(yīng)用述評】相關(guān)文章：
脈沖工藝在薄膜制備中的應(yīng)用04-26
堇青石基體化學(xué)氣相沉積碳化硅薄膜及其性能表征04-26
測井沉積微相自動識別與應(yīng)用04-27
納米ZnO薄膜制備及液態(tài)源摻雜04-27
感光薄膜與二維Bragg光柵制備04-27
現(xiàn)代氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用技術(shù)在分析不同果品香氣成分中的應(yīng)用04-27
便攜式氣相色譜-質(zhì)譜儀在應(yīng)急監(jiān)測中的應(yīng)用04-26
脈沖激光沉積Al/Ag摻雜功能梯度薄膜04-27