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四探針法測電阻率
實(shí)驗(yàn) 四探針法測電阻率
1．實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?/p>
學(xué)習(xí)用四探針法測量半導(dǎo)體材料的體電阻率和擴(kuò)散薄層的電阻率及方塊電阻。
2．實(shí)驗(yàn)內(nèi)容
① 硅單晶片電阻率的測量：選不同電阻率及不同厚度的大單晶圓片，改變條件（光照
與否），對(duì)測量結(jié)果進(jìn)行比較。
② 薄層電阻率的測量：對(duì)不同尺寸的單面擴(kuò)散片和雙面擴(kuò)散片的薄層電阻率進(jìn)行測
量。改變條件進(jìn)行測量（與①相同），對(duì)結(jié)果進(jìn)行比較。
3． 實(shí)驗(yàn)原理：
在半導(dǎo)體器件的研制和生產(chǎn)過程中常常要對(duì)半導(dǎo)體單晶材料的原始電阻率和經(jīng)過擴(kuò)散、外延等工藝處理后的薄層電阻進(jìn)行測量。測量電阻率的方法很多，有兩探針法，四探針法，單探針擴(kuò)展電阻法，范德堡法等，我們這里介紹的是四探針法。因?yàn)檫@種方法簡便可行，適于批量生產(chǎn)，所以目前得到了廣泛應(yīng)用。
所謂四探針法，就是用針間距約1毫米的四根金屬探針同時(shí)壓在被測樣品的平整表面上如圖1a所示。利用恒流源給1、4兩個(gè)探針通以小電流，然后在2、3兩個(gè)探針上用高輸入阻抗的靜電計(jì)、電位差計(jì)、電子毫伏計(jì)或數(shù)字電壓表測量電壓，最后根據(jù)理論
［１］
公式計(jì)算出樣品的電阻率
??C
V23
I
式中，C為四探針的修正系數(shù)，單位為厘米，C的大小取決于四探針的排列方法和針距，
探針的位置和間距確定以后，探針系數(shù)C就是一個(gè)常數(shù)；V23為2、3兩探針之間的電壓，單位為伏特；I為通過樣品的電流，單位為安培。
半導(dǎo)體材料的體電阻率和薄層電阻率的測量結(jié)果往往與式樣的形狀和尺寸密切相關(guān)，下面我們分兩種情況來進(jìn)行討論。
⑴ 半無限大樣品情形
圖1給出了四探針法測半無窮大樣品電阻率的原理圖，圖中(a)為四探針測量電阻率的裝置；(b)為半無窮大樣品上探針電流的分布及等勢面圖形；(c)和(d)分別為正方形排列及直線排列的四探針圖形。因?yàn)樗奶结槍?duì)半導(dǎo)體表面的接觸均為點(diǎn)接觸，所以，對(duì)圖１（b）所示的半無窮大樣品，電流I是以探針尖為圓心呈徑向放射狀流入體內(nèi)的。因而電流在體內(nèi)所形成的等位面為圖中虛線所示的半球面。于是，樣品電阻率為ρ，半徑為r，間距為dr的兩個(gè)半球等位面間的電阻為
dR?
它們之間的電位差為 dV?IdR?
?
dr， 2?r2
?I
dr。 2
2?r
考慮樣品為半無限大，在r→∞處的電位為0，所以圖１（a）中流經(jīng)探針１的電流I在r點(diǎn)形成的電位為 ?Vr?1?
?
?
r
?I?I?。 2
2?r2?r
流經(jīng)探針１的電流在２、３兩探針間形成的電位差為 ?V23?1?
?I?11?
?； ???2??r12r13??
流經(jīng)探針４的電流與流經(jīng)探針１的電流方向相反，所以流經(jīng)探針４的電流I在探針２、３之間引起的電位差為
?V23?4???I??
?11?
??。
2??r42r43??
于是流經(jīng)探針１、４之間的電流在探針２、３之間形成的電位差為
V23?
由此可得樣品的電阻率為
?I?1111??。 ??????2??r12r13r42r43?
?1
2?V23?1111?
????????I?rrrr4243??1213
?1?
上式就是四探針法測半無限大樣品電阻率的普遍公式。
在采用四探針測量電阻率時(shí)通常使用圖１（c）的正方形結(jié)構(gòu)（簡稱方形結(jié)構(gòu)）和圖１（d）的等間距直線形結(jié)構(gòu)，假設(shè)方形四探針和直線四探針的探針間距均為S， 則對(duì)于直線四探針有 r12?r43?S,
r13?r42?2S
???2?S?
V23
I
?2?
對(duì)于方形四探針有 r12?r43?S,r13?r42?2S
?
2?SV23
???
2?2I
?3?
⑵ 無限薄層樣品情形
當(dāng)樣品的橫向尺寸無限大，而其厚度t又比探針間距S小得多的時(shí)候，我們稱這種樣品為無限薄層樣品。圖２給出了用四探針測量無限薄層樣品電阻率的示意圖。圖中被測樣品為在p型半導(dǎo)體襯底上擴(kuò)散有n型薄層的無限大硅單晶薄片，１、２、３、４為四個(gè)探針在硅片表面的接觸點(diǎn)，探針間距為S，n型擴(kuò)散薄層的厚度為t，并且t<<S，I+表示電流從探針１流入硅片，I-表示電流從探針４流出硅片。與半無限大樣品不同的是，這里探針電流在n型薄層內(nèi)近似為平面放射狀，其等位面可近似為圓柱面。類似前面的分析，對(duì)于任意排列的四探針，探針１的電流I在樣品中r處形成的電位為
?Vr?1???I
r
?
2?rt
??
?I
lnr 2?t
式中ρ為n型薄層的平均電阻率。于是探針１的電流I在２、３探針間所引起的電位差為 ?V23?1??
?Ir12?Ir13
ln?ln 2?tr132?tr12
同理，探針４的電流I在２、３探針間所引起的電位差為
?V23?4??I
2?t
ln
r42
r43
所以探針１和探針４的電流I在２、３探針之間所引起的電位差是
V23?
?Ir42?r13
ln
2?tr43?r12
于是得到四探針法測無限薄層樣品電阻率的普遍公式為
??
2?tV23r?r
ln4213
Ir43?r12
?4?
對(duì)于直線四探針，利用r12?r43?S,r13?r42?2S可得
??
2?tV23?tV232ln2??Iln2I
?5?
對(duì)于方形四探針，利用r12?r43?S,r13?r42?2S可得
??
2?tV23
?ln2I
?6?
在對(duì)半導(dǎo)體擴(kuò)散薄層的實(shí)際測量中常常采用與擴(kuò)散層雜質(zhì)總量有關(guān)的方塊電阻RS
，它
與擴(kuò)散薄層電阻率有如下關(guān)系：
RS?
?
Xj
?
1q??
Xj0
NdX
?
1
q?NXj
這里Xj為擴(kuò)散所形成的pn結(jié)的結(jié)深。這樣對(duì)于無限薄層樣品，方塊電阻可以表示如下： 直線四探針：
RS?
?
Xj
?
?V23
ln2I
?7?
方形四探針：
RS?
?
Xj
?
2?V23
ln2I
?8?
在實(shí)際測量中，被測試的樣品往往不滿足上述的無限大條件，樣品的形狀也不一定相同，因此常常要引入不同的修正系數(shù)。
實(shí)際測量中的擴(kuò)散樣片可能有兩種情況：單面擴(kuò)散片和雙面擴(kuò)散片，如圖3所示。這兩種樣品的修正系數(shù)分別列于附錄中的表。
圖4 SZT-2A四探針測試儀
4．實(shí)驗(yàn)裝置及注意事項(xiàng)
⑴ 實(shí)驗(yàn)裝置
實(shí)驗(yàn)裝置如圖4所示。電路中的恒流源所提供的電流是連續(xù)可調(diào)的，電壓表采用電位差計(jì)或數(shù)字電壓表。實(shí)驗(yàn)所用的探針通常采用耐磨的導(dǎo)電硬質(zhì)合金材料，如鎢、碳化鎢等。探針要求等間距配置，并使其具有很小的游移誤差。在探針上需加上適當(dāng)?shù)膲毫Γ?/p>
以減小探針與半導(dǎo)體材料之間的接觸電阻。
⑵ 注意事項(xiàng)
① 半無限大樣品是指樣品厚度及任意一根探針距樣品最近邊界的距離遠(yuǎn)大于探針
間距，如果這一條件不能得到滿足則必需進(jìn)行修正。
② 為了避免探針處的少數(shù)載流子注入，提高表面復(fù)合速度，待測樣品的表面需經(jīng)
粗砂打磨或噴砂處理。
③ 在測量高阻材料及光敏材料時(shí)需在暗室或屏蔽盒內(nèi)進(jìn)行。
④ 因?yàn)殡妶鎏髸?huì)使載流子的遷移率下降，導(dǎo)致電阻率測量值增大，故須在電場
強(qiáng)度E<1V/cm的弱場下進(jìn)行測量。
⑤ 為了避免大電流下的熱效應(yīng)，測試電流應(yīng)盡可能低，但須保證電壓的測試精度。
[2]
⑥ 為了滿足探針與半導(dǎo)體的接觸為歐姆接觸，探針上須加上一定的壓力。對(duì)于體
材料，一般取1~2kg；對(duì)于薄層材料或外延材料選取200g。
⑦ 當(dāng)室溫有較大波動(dòng)時(shí)，最好將電阻率折算到23℃時(shí)的電阻率。因?yàn)榘雽?dǎo)體的電
阻率對(duì)溫度很敏感。如果有必要考慮溫度對(duì)電阻率的影響，可用下面的公式進(jìn)行計(jì)算
?參考??平均?1?CT?T?T參考??
?9?
式中ρ參考為修正到某一參考溫度(例如23℃)下的樣品電阻率; ρ平均為測試溫度下樣品的平均電阻率；CT為溫度系數(shù)，它隨電阻率變化的曲線示于圖5；T為測試溫度；T參考為某一指定的參考溫度。
以減小探針與半導(dǎo)體材料之間的接觸電阻。
⑵ 注意事項(xiàng)
① 半無限大樣品是指樣品厚度及任意一根探針距樣品最近邊界的距離遠(yuǎn)大于探針
間距，如果這一條件不能得到滿足則必需進(jìn)行修正。
② 為了避免探針處的少數(shù)載流子注入，提高表面復(fù)合速度，待測樣品的表面需經(jīng)
粗砂打磨或噴砂處理。
③ 在測量高阻材料及光敏材料時(shí)需在暗室或屏蔽盒內(nèi)進(jìn)行。
④ 因?yàn)殡妶鎏髸?huì)使載流子的遷移率下降，導(dǎo)致電阻率測量值增大，故須在電場
強(qiáng)度E<1V/cm的弱場下進(jìn)行測量。
⑤ 為了避免大電流下的熱效應(yīng)，測試電流應(yīng)盡可能低，但須保證電壓的測試精度。
[2]
⑥ 為了滿足探針與半導(dǎo)體的接觸為歐姆接觸，探針上須加上一定的壓力。對(duì)于體
材料，一般取1~2kg；對(duì)于薄層材料或外延材料選取200g。
⑦ 當(dāng)室溫有較大波動(dòng)時(shí)，最好將電阻率折算到23℃時(shí)的電阻率。因?yàn)榘雽?dǎo)體的電
阻率對(duì)溫度很敏感。如果有必要考慮溫度對(duì)電阻率的影響，可用下面的公式進(jìn)行計(jì)算
?參考??平均?1?CT?T?T參考??
?9?
式中ρ參考為修正到某一參考溫度(例如23℃)下的樣品電阻率; ρ平均為測試溫度下樣品的平均電阻率；CT為溫度系數(shù)，它隨電阻率變化的曲線示于圖5；T為測試溫度；T參考為某一指定的參考溫度。
5．附錄
W
附錄1A 樣品厚度修正系數(shù)G（ ）
S
W
樣品厚度較�。篠 =0.001~1 見表5
W：樣品厚度（μm）：S：探針間距（mm）
W/S W 0.00 0 0.01 10 0.02 20 0.03 30 0.04 40 0.05 50 0.06 60 0.07 70 0.08 80 0.09 90 0.10 100 0.11 110 0.12 120 0.13 130 0.14 140 0.15 150 0.16 160 0.17 170 0.18 180 0.19 190 0.20 200 0.21
210
0 1 .000 .001 .007 .008 .014 .015 .022 .022 .029 .030 .036 .037 .043 .044 .051 .051 .058 .058 .065 .066 .072 .073 .079 .080 .087 .087 .094 .095 .101 .102 .108 .109 .115 .116 .123 .123 .130 .131 .137 .138 .144 .145 .151
.152
2 3 .001 .002 .009 .009 .016 .017 .023 .024 .030 .031 .038 .038 .045 .045 .052 .053 .059 .060 .066 .067 .074 .074 .081 .082 .088 .089 .095 .096 .102 .103 .110 .110 .117 .118 .124 .125 .131 .132 .139 .139 .145 .146 .153
.154
4 5 .003 .004 .010 .011 .017 .018 .025 .025 .032 .032 .039 .040 .046 .047 .053 .054 .061 .061 .068 .069 .075 .076 .082 .083 .089 .090 .097 .097 .104 .105 .111 .112 .118 .119 .126 .126 .133 .133 .140 .141 .147 .148 .154
.155
6 7 .004 .005 .012 .012 .019 .019 .026 .027 .033 .034 .040 .041 .048 .048 .055 .056 .062 .063 .069 .070 .077 .077 .084 .084 .091 .092 .098 .099 .105 .106 .113 .113 .120 .120 .127 .128 .134 .135 .141 .142 .149 .149 .156
.157
8 9 .006 .006 .013 .014 .020 .021 .027 .028 .035 .035 .042 .043 .049 .050 .056 .057 .063 .064 .071 .071 .078 .079 .085 .086 .092 .093 .100 .100 .107 .107 .114 .115 .121 .122 .128 .129 .136 .136 .143 .144 .150 .151 .157
.158
0.23 230 W/S W 0.24 240 0.25 250 0.26 260 0.27 270 0.28 280 0.29 290 0.30 300 0.31 310 0.32 320 0.33 330 0.34 340 0.35 350 0.36 360 0.37 370 0.38 380 0.39 390 0.40 400 0.41 410 0.42 420 0.43 430 0.44 440 0.45 450 0.46 460 0.47 470 0.48 480 0.49
490
.166 .167 0 1 .173 .174 .180 .181 .188 .188 .195 .195 3202 .203 .209 .210 .216 .217 .224 .224 .231 .232 .238 .239 .245 .246 .252 .253 .260 .260 .267 .268 .274 .275 .281 .282 .288 .289 .296 .296 .303 .303 .310 .311 .317 .318 .324 .325 .331 .332 .338 .339 .346 .346 .353
.353
.167 .168 2 3 .175 .175 .182 .183 .189 .190 .19 .197 .203 .204 .211 .211 .218 .219 .225 .226 .232 .233 .239 .240 .247 .247 .254 .255 .261 .262 .268 .269 .275 .276 .283 .283 .290 .291 .297 .298 .304 .305 .311 .312 .319 .319 .326 .326 .333 .333 .340 .341 .347 .348 .354
.355
.169 .170 4 5 .176 .177 .183 .184 .190 .191 .198 .199 .205 .205 .212 .213 .219 .220 .227 .227 .234 .234 .241 .242 .248 .249 .255 .256 .263 .263 .270 .270 .277 .278 .284 .285 .291 .292 .298 .299 .306 .306 .313 .314 .320 .321 .327 .328 .334 .335 .341 .342 .348 .349 .355
.356
.170 .171 6 7 .177 .178 .185 .185 .192 .193 .199 .200 .206 .207 .214 .214 .221 .221 .228 .229 .235 .236 .242 .243 .250 .250 .257 .257 .264 .265 .271 .272 .278 .279 .286 .286 .293 .293 .300 .301 .307 .308 .314 .315 .321 .323 .329 .329 .336 .336 .343 .343 .350 .351 .357
.358
.172 .172 8 9 .197 .180 .186 .187 .193 .194 .201 .201 .208 .208 .215 .216 .222 .223 .229 .230 .237 .237 .244 .245 .251 .252 .258 .259 .265 .266 .273 .273 .280 .281 .287 .289 .294 .295 .301 .302 .308 .309 .316 .316 .323 .324 .330 .331 .337 .338 .344 .345 .351 .352 .358
.359
W/S W 0.51 510 0.52 520 0.53 530 0.54 540 0.55 550 056 560 0.57 570 0.58 580 0.59 590 0.60 600 0.61 610 0.62 620 0.63 630 0.64 640 0.65 650 0.66 660 0.67 670 0.68 680 0.69 690 0.70 700 0.71 710 0.72 720 0.73 730 0.74 740 0.75 750 0.76
760
0 1 .367 .368 .374 .375 .381 .382 .388 .389 .395 .396 .402 .402 .409 .409 .416 .416 .422 .423 .429 .430 .436 .437 .443 .444 .450 .450 .456 .457 .463 .464 .470 .470 .476 .477 .483 .483 .489 .490 .496 .496 .502 .503 .508 .509 .515 .516 .521 .522 .527 .528 .533
.534
2 3 .368 .369 .375 .376 .382 .383 .389 .390 .396 .397 .403 .404 .410 .411 .417 .418 .424 .425 .431 .431 .437 .438 .444 .445 .451 .452 .458 .458 .464 .465 .471 .472 .477 .478 .484 .485 .491 .491 .497 .498 .503 .504 .510 .510 .516 .517 .522 .523 .529 .529 .535
.535
4 5 .370 .370 .377 .377 .384 .384 .391 .391 .398 .398 .405 .405 .411 .412 .418 .419 .425 .426 .432 .433 .439 .439 .446 .446 .452 .453 .459 .460 .466 .466 .472 .473 .479 .479 .485 .486 .492 .492 .498 .499 .505 .505 .511 .512 .517 .518 .524 524 .530 .530 .536
.537
6 7 .371 372 .378 .379 .385 .386 .392 .393 .399 .400 .406 .407 .413 .414 .420 .420 .427 .427 .433 .434 .440 .441 .447 448 .454 454 .460 461. .467 468 .474 .474 .480 .481 .487 .488 .493 .494 .500 .500 .506 .507 .512 .513 .519 .519 .525 .525 .531 .532 .537
.538
8 9 372 .373 .379 .380 .386 .387 .393 .394 .400 .401 .407 .408 .414 .415 .421 .422 .428 .429 .435 .435 .442 .442 .448 .449 .455 .456 .462 .462 .468 .469 .475 .476 .481 .482 .488 .489 .494 .495 .501 .501 .507 .508 .514 .514 .520 .520 .526 .527 .532 .533 .538
.539
W/S W 0.78 780 0.79 790 0.80 800 0.81 810 0.82 820 0.83 830 0.84 840 0.85 850 0.86 860 0.87 870 0.88 880 0.89 890 0.90 900 0.91 910 0.92 920 0.93 930 0.94 940 0.95 950 0.96 960 0.97 970 0.98 980 0.99 990 1.00
1000
0 1 .546 .546 .552 .552 .558 .558 .564 .564 .569 .570 .575 .576 .581 .581 .587 .587 .592 .593 .598 .598 .603 .604 .609 .609 .614 .615 .619 .620 .625 .625 .630 .630 .635 .636 .640 ..641 .645 .646 .650 .651 .655 .656 .660 .660
.665
2 3 .547 .547 .553 .553 .559 .559 .565 .565 .571 .571 .576 .577 .582 .583 .588 .588 .593 .594 .599 .599 .604 .605 .610 .610 .615 .616 .621 .621 .626 .626 631 .631 .636 .637 .641 .642 .646 .647 .651 .652 .656 .657 .661
.661
4 5 .548 .549 .554 .555 .560 .561 .565 .567 .572 .573 .577 .579 .583 .584 .589 590 .594 .596 .600 .601 .605 .607 .611 .612 .616 .617 .622 .623 .627 .628 .632 .633 .637 .638 .642 .643 .647 .648 .652 .653 .657 .658 .662 .663
.
6 7 .549 .550 .555 .556 .561 .562 .567 .568 .573 .573 .579 .579 .584 .585 .590 .591 .596 .596 .601 .602 .607 .607 .612 .613 .617 .618 .623 .623 .628 .628 .633 .634 .638 .639 .643 .644 .648 .649 .653 .654 .658 .658 .663
.663
8 9 .550 .551 .556 .557 .562 .563 .568 .569 .574 .575 .580 .580 .585 .586 .591 .592 .597 .597 .602 .603 .608 .608 .613 .614 .618 .619 .624 .624 .629 .629 .634 .635 .639 .640 .644 .645 .649 .650 .654 .655 .658 .659 .664
.664
W
附錄1B 樣品厚度修正系數(shù)G）
S
W
樣品厚度較厚：S =0.01~3.49 見表 W：樣品厚度（μm）：S：探針間距（mm） W/S 0.00
0.00 0.0000 0.10 0.0721 0.20 0.1443 0.30 0.2164 0.40 0.2884
0.50 0.3597 0.60 0.4293 0.70 0.4957 0.80 0.5576 0.90 0.6141
1.00 0.6647 1.10 0.7093 1.20 0.7482 1.30 0.7817 1.40 0.8106
1.50 0.8352 1.60 0.8563 1.70 0.8743 1.80 0.8897 0.01 0.02
0.0072 0.0144 0.0794 0.0866 0.1515 0.1587 0.2236 0.2308 0.2956 0.3027
0.3668 0.3738 0.4361 0.4429 0.5021 0.5085 0.5635 0.5694 0.6194 0.6247
0.6694 0.6741 0.7134 0.7175 0.7518 0.7553 0.7848 0.7879 0.8132 0.8158
0.8375 0.8397 0.8382 0.8601 0.8760 0.8776 0.8911 0.8925 0.03 0.04
0.0216 0.0289 0.0938 0.1010 0.1659 0.1731 0.2380 0.2452 0.3099 0.3171
0.3808 0.3878 0.4496 0.4563 0.5148 0.5210 四探針法測電阻率0.5751 0.5809 0.6299 0.6351
0.6787 0.6833 0.7215 0.7255 0.7589 0.7622 0.7908 0.7938 0.8184 0.8209
0.8419 0.8441 0.8620 0.8639 0.8792 0.8808 0.8939 0.8952 0.05 0.06
0.0361 0.0433 0.1082 0.1154 0.1803 0.1875 0.2524 0.2596 0.3242 0.3313
0.3948 0.4018 0.4630 0.4696 0.5273 0.5334 0.5866 0.5922 0.6402 0.6452
0.6877 0.6922 0.7294 0.7333 0.7666 0.7689 0.7967 0.7996 0.8234 0.8258
0.8462 0.8483 0.8657 0.8675 0.8823 0.8838 0.8965 0.8978 0.07 0.08
0.0505 0.0577 0.1226 0.1298 0.1948 0.2020 0.2668 0.2740 0.3385 0.3456
0.4087 0.4156 0.4762 0.4827 0.5396 0.5456 0.5978 0.6033 0.6501 0.6551
0.6965 0.7009 0.7371 0.7408 0.7122 0.7754 0.8024 0.8052 0.8282 0.8306
0.8503 0.8524 0.8692 0.8709 0.8853 0.8868 0.8991 0.9004 0.09
0.0649 0.1371 0.2092 0.2812 0.3526
0.4224 0.4892 0.5516 0.6087 0.6599
0.7051 0.7445 0.7786 0.8079 0.8329
0.8544 0.8726 0.8883 0.9016
1.90 0.9029 0.9041 0.9053 0.9064 0.9076 0.9087 0.9099 0.9110 0.9121 0.9131
W/S 0.00
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0.06
0.07
0.08
0.09
2.00 0.9142 0.9152 0.9162 0.9172 0.9182 0.9192 0.9202 0.9211 0.9221 0.9230 2.10 0.9239 0.9248 0.9257 0.9266 0.9274 0.9283 0.9291 0.9299 0.9307 0.9315 2.20 0.9323 2.30 0.9396 2.40 0.9459
2.50 0.9514 2.60 0.9562 2.70 0.9604 2.80 0.9641 2.90 0.9674
3.00 0.9703 3.10 0.9728 3.20 0.9751 3.30 0.9772 3.40 0.9790
0.9331 0.9338 0.9402 0.9409 0.9402 0.9470
0.9519 0.9524 0.9566 0.9571 0.9608 0.9612 0.9644 0.9648 0.9677 0.9680
0.9705 0.9708 0.9731 0.9733 0.9753 0.9756 0.9774 0.9776 0.9792 0.9794 0.9346 0.9353 0.9415 0.9422 0.9476 0.9482
0.9529 0.9534 0.9575 0.9579 0.9616 0.9619 0.9652 0.9655 0.9683 0.9686
0.9711 0.9713 0.9736 0.9738 0.9758 0.9760 0.9778 0.9779 0.9795 0.9797 0.9361 0.9368 0.9428 0.9435 0.9487 0.9493
0.9538 0.9543 0.9583 0.9588 0.9623 0.9627 0.9658 0.9661 0.9689 0.9692
0.9716 0.9718 0.9740 0.9742 0.9762 0.9764 0.9781 0.9783 0.9799 0.9800 0.9375 0.9382 0.9441 0.9447 0.9498 0.9503
0.9548 0.9553 0.9592 0.9596 0.9630 0.9634 0.9664 0.9667 0.9694 0.9697
0.9721 0.9724 0.9745 0.9747 0.9766 0.9768 0.9785 0.9787 0.9802 0.9803 0.9389 0.9453 0.9509
0.9557 0.9600 0.9637 0.9671 0.9700
0.9726 0.9749 0.9770 0.9788 0.9805
如需所測值更精確，請(qǐng)查下表
d
附錄2樣品形狀和測量位置的修正系數(shù)D（）
（1）圓形薄片
直徑d (mm)
距圓心位置 0mm
1/4 d 20 0.9788 0.9633 23 0.9839 0.9719 25 0.9863 0.9761 27 0.9882 0.9794 30 0.9904 0.9832 32 0.9916 0.9852 35 0.9929 0.9876 38 0.9940 0.9894 40 0.9946 0.9904 42 0.9951 0.9913 45 0.9957 0.9924 50 0.9965 0.9938 55 0.9971 0.9919 57 0.9973 0.9952 60 0.9976 0.9957 63 0.9978 0.9961 65 0.9979 0.9963 70 0.9982 0.9968 75
0.9985
0.9972
探 針5 mm 0.9633 0.9662 0.9677 0.9688 0.9702 0.9709 0.9718 0.9725 0.9729 0.9733 0.9738 0.9744 0.9749 0.9751 0.9752 0.9755 0.9757 0.9760 0.9762
s
位 置
距邊緣位置 4 mm 3 mm 0.9508 0.9263 0.9538 0.9295 0.9553 0.9312 0.9565 0.9325 0.9580 0.9342 0.9588 0.9351 0.9598 0.9362 0.9606 0.9371 0.9610 0.9377 0.9614 0.9382 0.9620 0.9488 0.9627 0.9497 0.9633 0.9403 0.9635 0.9406 0.9638 0.9409 0.9640 0.9412 0.9641 0.9414 0.9645 0.9418 0.9648
0.9421
2 mm 0.8702 0.8739 0.8758 0.8773 0.8793 0.8804 0.8817 0.8829 0.8835 0.8841 0.8849 0.8859 0.8868 0.8871 0.8875 0.8879 0.8881 0.8886 0.8891
80 90 100
0.9986 0.9989 0.9991
0.9976 0.9981 0.9984
0.9764 0.9768 0.9770
0.9650 0.9654 0.9657
0.9424 0.9429 0.9433
0.8895 0.8901 0.8904
（2）矩形薄片
d/s 1.0 1.25 1.5 1.75 2.0 2.5 3.0 4.0 5.0 7.5 10.0 15.0 20.0 40.0 100
d：短邊長度 a：長邊長度 s：探針間距
正方形 a/d=1 0.5422 0.6870 0.7744 0.8846 0.9312 0.9682 0.9788 0.9955 1.0000
a/d=2 0.3263 0.3794 0.4301 0.5192 0.5957 0.7115 0.7887 0.8905 0.9345 0.9696 0.9830 0.9957 1.0000
矩形 a/d=3 0.2204 0.2751 0.3286 0.3803 0.4297 0.5194 0.5958 0.7115 0.7888 0.8905 0.9345 0.9696 0.9860 0.9957 1.0000
a/d≥4 0.2205 0.2702 0.3286 0.3803 0.4297 0.5194 0.5958 0.7115 0.7888 0.8905 0.9345 0.9696 0.9830 0.9957 1.0000
提醒：每次開機(jī)啟動(dòng)，儀器會(huì)有一個(gè)自動(dòng)校正和自動(dòng)預(yù)熱過程，初測試偶有5到10次測試數(shù)值不精確視為正常情況。
建議：一般情況下，附表1A即已完全能足夠滿足精度。
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