壓電振動微機械陀螺研究

壓電振動微機械陀螺研究

本文介紹了一種新型的壓電振動微機械陀螺.與其它大多數(shù)壓電陀螺不同,它不需要彈性元件,由壓電材料本身構(gòu)成振子完成陀螺功能.由PZT薄膜材料做成的平板沿厚度方向極化并受電激勵產(chǎn)生厚度伸縮振動,當一輸入角速度作用于振子,根據(jù)哥氏效應,則在極化軸和輸入角速度軸組成的平面垂直方向上產(chǎn)生一正比于輸入角速度大小的感應電壓.它是一種雙軸陀螺.本文給出了它的物理模型,并用PZT陶瓷晶體做了宏觀模擬實驗.實驗結(jié)果與理論計算一致.文章還對由PZT薄膜構(gòu)成的微機械壓電陀螺進行了性能估算.

作 者： 何國鴻 陳抗生   作者單位： 浙江大學信息與電子工程學系,杭州,310027  刊 名： 電子學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA ELECTRONICA SINICA  年，卷(期)： 1998 26(11)  分類號： V2  關(guān)鍵詞： 陀螺   壓電   微機械   厚度伸縮振動  

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