懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀的研究進(jìn)展

懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀的研究進(jìn)展

介紹了一種不同于振動(dòng)式微機(jī)械陀螺儀的新型微機(jī)電系統(tǒng)陀螺-懸浮轉(zhuǎn)子式微機(jī)械陀螺儀,并就國(guó)內(nèi)外關(guān)于磁懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺和靜電懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺研究的各種結(jié)構(gòu)及其工作原理、工藝和性能特點(diǎn)進(jìn)行了概述,以展示這一新穎微陀螺的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢(shì).

作 者： 崔峰 陳文元 蘇宇鋒 吳校生 CUI Feng CHEN Wen-yuan SU Yu-feng WU Xiao-sheng   作者單位： 上海交通大學(xué),微納米科學(xué)技術(shù)研究院,微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海,200030  刊 名： 壓電與聲光  ISTIC PKU 英文刊名： PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS  年，卷(期)： 2005 27(3)  分類號(hào)： V241.5  關(guān)鍵詞： 微機(jī)電系統(tǒng)   微機(jī)械陀螺   磁懸浮   靜電懸浮   轉(zhuǎn)子  

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