450mm晶圓緩行

450mm晶圓緩行

為了提高產(chǎn)品的生產(chǎn)率和利潤(rùn),近年來(lái)晶圓面積不斷擴(kuò)大,大約每10年升級(jí)一次.1991年業(yè)界開(kāi)始投產(chǎn)200mm晶圓,2001年起步向300mm晶圓過(guò)渡,依次類推.

作 者： 陶然   作者單位：   刊 名： 電子產(chǎn)品世界  ISTIC 英文刊名： ELECTRONIC ENGINEERING & PRODUCT WORLD  年，卷(期)： 2008 15(12)  分類號(hào)：   關(guān)鍵詞：  

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