溶膠-凝膠VO2薄膜轉(zhuǎn)換特性研究?

溶膠-凝膠VO2薄膜轉(zhuǎn)換特性研究?

利用溶膠-凝膠法在SiO2/Si 襯底上沉積高取向的V2O5薄膜,在壓強低于2Pa,溫度高于400℃的條件下,對V2O5薄膜進行真空烘烤,獲得了電阻率變化3個數(shù)量級以上、弛豫寬度為6.2℃的VO2多晶薄膜.以X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)圖和電阻率轉(zhuǎn)換特性等實驗結(jié)果為依據(jù),詳細分析了溶膠-凝膠薄膜在真空烘烤時從V2O5向VO2的轉(zhuǎn)化,它經(jīng)歷了從VnO2n+1(n=2,3,4,6)到VO2的過程.實驗證明,根據(jù)選擇合適的成膜熱處理條件和真空烘烤條件是實現(xiàn)溶膠-凝膠V2O5結(jié)構(gòu)向VO2結(jié)構(gòu)成功轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵.

作 者： 袁寧一 李金華 林成魯   作者單位： 袁寧一(江蘇石油化工學院信息科學系功能材料實驗室,常州,213016；中國科學院上海冶金研究所信息功能材料國家重點實驗室,上海,200050)

李金華(江蘇石油化工學院信息科學系功能材料實驗室,常州,213016)

林成魯(中國科學院上海冶金研究所信息功能材料國家重點實驗室,上海,200050) 

刊 名： 物理學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(4)  分類號： O4  關(guān)鍵詞： 溶膠-凝膠法   氧化釩薄膜   VO2膜轉(zhuǎn)換特性  

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