微型半球陀螺儀的誤差源研究

微型半球陀螺儀的誤差源研究

討論了微型半球陀螺儀特有的一些誤差源,主要有感測電路上的量測誤差、電極與薄殼間電容的非線性效應誤差、溫度變化所引發(fā)的熱漂移、線加速度所引發(fā)的誤差以及非對稱結構和非對稱阻尼誤差等.對上述誤差源的認識是微結構制造和電路設計的基礎.

作 者： 倪受東 吳洪濤 嵇海平 朱劍英 NI Shou-dong WU Hong-tao JI Hai-ping ZHU Jian-ying   作者單位： 倪受東,NI Shou-dong(南京航空航天大學,機電學院,江蘇,南京,210016;南京工業(yè)大學,機械與動力工程學院,江蘇,南京,210009)

吳洪濤,嵇海平,朱劍英,WU Hong-tao,JI Hai-ping,ZHU Jian-ying(南京航空航天大學,機電學院,江蘇,南京,210016) 

刊 名： 傳感器與微系統(tǒng)  PKU 英文刊名： TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGIES  年，卷(期)： 2007 26(1)  分類號： V241.6  關鍵詞： 微型半球陀螺儀   量測誤差   非線性效應   熱漂移   結構誤差  

【微型半球陀螺儀的誤差源研究】相關文章：

機載激光測深系統(tǒng)測深誤差源的研究04-27

速率捷聯(lián)慣導系統(tǒng)陀螺儀誤差分段補償技術研究04-27

小學語文微型課題研究報告09-06

微型UAV水面檢測系統(tǒng)研究04-27

微型課題研究心得體會03-18

抽樣調(diào)查中無回答誤差控制的研究04-27

懸浮轉(zhuǎn)子式微機械陀螺儀的研究進展04-27

學校校本微型課題研究管理辦法06-08

美國環(huán)境史研究的源起04-26

利用微型動物進行污泥減量的研究進展04-25